Dummy Wafer 是什麼？半導體製程的幕後功臣

什麼是 Dummy Wafer？

在半導體製造的世界裡，有一種晶圓幾乎不會出現在最終產品中，卻是每一座晶圓廠每天都大量消耗的「必需品」——這就是 Dummy Wafer，又稱 Test Wafer 或啞晶圓。

與表面佈滿電路圖案的生產用晶圓不同，Dummy Wafer 通常是表面光滑、無任何電路結構的矽片。它的存在，是為了「代替」真正的產品晶圓承擔各種設備暖機、製程穩定與測試校準的任務。

① 設備暖機（Seasoning）
每次設備保養或製程參數調整後，腔體內的溫度、壓力、電漿分佈等條件都需要一段時間才能達到穩定。這段期間，必須使用 Dummy Wafer 不斷走片，讓腔體條件趨於穩定，才能讓真正的產品晶圓上線。少了這個步驟，前幾批產品的良率將大幅下降。

② 製程監控與量測
在批次生產中，每隔一定間隔需要抽取晶圓量測膜厚、平坦度、顆粒數等關鍵參數。這些監控晶圓在確認製程穩定後即報廢，是典型的 Dummy Wafer 應用場景。

③ 設備驗收與校準
新設備安裝或年度保養後，工程師必須使用大量 Dummy Wafer 進行各項測試，確認機台達到規格要求後才能投入量產。

根據業界估計，一座月產能 5 萬片的 12 吋晶圓廠，每月 Dummy Wafer 消耗量可高達 數千至一萬片以上，視製程複雜度與設備保養頻率而定。隨著先進節點（3nm、2nm）製程更加複雜、設備敏感性提高，Dummy Wafer 的用量也持續增加。

此外，全球半導體廠積極擴產，台灣、韓國、日本、美國等地大量新廠落成，每座新廠在試產期間的 Dummy Wafer 需求更是數倍於成熟廠。這些因素共同推動了市場需求的穩定成長。

谷韋科技的 Dummy Wafer 原料來自嚴格篩選的再生矽料，經過研磨、拋光、清洗等精密製程後，品質穩定可靠，且兼顧成本競爭力。

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