顆粒晶圓Particle Wafer
在半導體產業中，Particle Wafer(顆粒晶圓）通常指表面帶有特定微小顆粒（Particles）的校正用晶圓。這類的晶圓主要用於檢測設備的校準，以確保製程中的顆粒監控精確無誤。
●主要用途
設備校準：用於校正「晶圓缺陷檢驗系統」（Wafer Inspection Systems），確保檢測機台能正確偵測出不同大小的微粒。
良率控制：Particle(顆粒)是導致半導體電路短路或良率下降的主因，使用校正標準片可設定機台的掃描門檻值。
●尺寸範圍：微粒大小通常涵蓋 32nm 到300nm 不等，以對應客戶不同的製程需求，歡迎來電洽詢！