藍寶石晶圓Sapphire Wafer
藍寶石的組成為氧化鋁(Al2O3)，是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鏈結而成，其晶體結構為六方晶格結構。由於藍寶石的光學穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量運用在光學元件、紅外線裝置、高強度鐳射鏡片材料及光罩材料上，它具有高超聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高（2045℃）等特點，是一種相當難加工的材料，因此常被用來作為光電元件的材料。
目前超高亮度白/藍光LED的品質取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質，而氮化鎵磊晶品質則與所使用的藍寶石基板表面加工的品質息息相關，藍寶石(單晶Al2O3 )C面與Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數失配率小，同時符合GaN磊晶製程中耐高溫的要求，使得藍寶石晶圓成為製作白/藍/綠光LED的關鍵材料。
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規格 (mm) |
厚度 Thickness |
直徑 Diameter |
表面平整度 TTV |
翹曲 Warp |
Surface Ra (1 Side/Front) 表面粗糙度(上方) |
Surface Ra (2 Side/Front) 表面粗糙度(下方) |
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1±0.01mm |
300±0.05mm |
≦5um |
≦30um |
Ra:16-70nm |
Ra:16-70nm |
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